Διαφορά μεταξύ ξηρής και υγρής χάραξης
Κύρια διαφορά – Ξηρό vs Υγρό χαρακτικό
Η χάραξη είναι βασικά η αφαίρεση ουσιών από τις επιφάνειες. Έχουν εφευρεθεί διαφορετικές διαδικασίες χάραξης ανάλογα με το υλικό που πρόκειται να αφαιρεθεί. Η υγρή χάραξη και η ξηρή χάραξη είναι τέτοιες διαδικασίες. Η υγρή χάραξη μπορεί να ονομαστεί ισότροπη χάραξη. Η ξηρή χάραξη μπορεί να ονομαστεί ανισότροπη χάραξη. Αυτές οι διαδικασίες υγρής και ξηρής χάραξης μπορούν να χωριστούν περαιτέρω ανάλογα με την τεχνική και άλλους παράγοντες που επηρεάζουν τη χάραξη. Η κύρια διαφορά μεταξύ ξηρής και υγρής χάραξης είναι ότιη ξηρή χάραξη γίνεται σε υγρή φάση ενώ η υγρή χάραξη γίνεται σε φάση πλάσματος.
Βασικές περιοχές που καλύπτονται
1. Τι είναι το Dry Etching
– Ορισμός, Τεχνική, Εφαρμογές , Πλεονεκτήματα και μειονεκτήματα
2. Τι είναι η υγρή χάραξη
– Ορισμός, Τεχνική, Εφαρμογές , Πλεονεκτήματα και μειονεκτήματα
3. Ποια είναι η διαφορά μεταξύ ξηρής και υγρής χάραξης
– Σύγκριση βασικών διαφορών
Βασικοί όροι:Ανισότροπο, Ξηρή χάραξη, Χαρακτική, Ισότροπη, Υγρή Φάση, Χαλκογραφία πλάσματος, Φάση Πλάσματος, Υγρή χάραξη 
Τι είναι η Dry Etching
Η ξηρή χάραξη είναι η διαδικασία χάραξης που γίνεται στη φάση του πλάσματος. Εδώ, οι αντιδράσεις αφαίρεσης υλικού συμβαίνουν στην αέρια φάση. Η ξηρή χάραξη ονομάζεται επίσης χαλκογραφία πλάσματος . Αυτή η διαδικασία μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τη δημιουργία σχεδιασμένων μοτίβων σε επιφάνειες. Η ξηρή χάραξη μπορεί να χρησιμοποιηθεί σε πλακέτες τυπωμένων κυκλωμάτων. Υπάρχουν δύο τύποι ξηρής χάραξης.
- Χαλκογραφία που δεν βασίζεται στο πλάσμα
- Χαλκογραφία με βάση το πλάσμα
Η χάραξη που δεν βασίζεται στο πλάσμα χρησιμοποιεί μια αυθόρμητη αντίδραση ενός κατάλληλου μίγματος αντιδραστικών αερίων. Η χάραξη με βάση το πλάσμα χρησιμοποιεί ισχύ ραδιοσυχνοτήτων για να οδηγήσει τη χημική αντίδραση. Στο σχηματισμό πλάσματος, ο θάλαμος εκκενώνεται και γεμίζει με αέριο ή αέρια. Εφαρμόζεται ραδιοσυχνότητα. Αυτή η εφαρμοζόμενη συχνότητα μπορεί να επιταχύνει τα ηλεκτρόνια. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα την αύξηση της κινητικής ενέργειας στο εσωτερικό του θαλάμου. Τα ηλεκτρόνια θα κολλήσουν με ουδέτερα μόρια αερίου. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα το σχηματισμό ιόντων και περισσότερων ηλεκτρονίων. Αυτός ο ιονισμός τελικά καταλήγει στο σχηματισμό πλάσματος. (Το πλάσμα είναι ένα σύστημα που αποτελείται από ίσο αριθμό κατιόντων και ηλεκτρονίων μαζί με ουδέτερα μόρια.)
Εικόνα 1:Διαδικασία χάραξης πλάσματος υδρογόνου
Πλεονεκτήματα και μειονεκτήματα
Υπάρχουν πολλά πλεονεκτήματα της διαδικασίας ξηρής χάραξης. Εξαλείφει την ανάγκη χειρισμού επικίνδυνων χημικών. Χρησιμοποιεί μικρές ποσότητες χημικών για τη χάραξη. Ένα σημαντικό πλεονέκτημα είναι η υψηλή ανάλυση και η καθαριότητα που μπορούν να επιτευχθούν από την ξηρή χάραξη. Η διαδικασία είναι επίσης εύκολη στον έλεγχο και τον χειρισμό. Εκτός από αυτό, η ξηρή χάραξη μπορεί εύκολα να αυτοματοποιηθεί.
Αλλά υπάρχουν και ορισμένα μειονεκτήματα. Για παράδειγμα, ορισμένα αέρια που χρησιμοποιούνται στην ξηρή χάραξη είναι τοξικά και διαβρωτικά. Η εκ νέου εναπόθεση πτητικών ενώσεων είναι ένα σημαντικό πρόβλημα που προκύπτει όταν χρησιμοποιούνται πτητικές ενώσεις. Αυτή η μέθοδος είναι αρκετά ακριβή επειδή απαιτείται εξειδικευμένος εξοπλισμός.
Τι είναι το Wet Etching
Η υγρή χάραξη είναι η διαδικασία χάραξης που γίνεται σε υγρή φάση. Οι χημικές ουσίες που χρησιμοποιούνται για τη διαδικασία χάραξης ονομάζονται εγγραφές . Η υγρή χάραξη χρησιμοποιεί ένα λουτρό χαρακτικών για τη χάραξη. Αλλά αυτή η μέθοδος δεν είναι πολύ ακριβής. Ωστόσο, είναι εύκολο στον χειρισμό από τη διαδικασία ξηρής χάραξης. Αυτό που συμβαίνει βασικά στην υγρή χάραξη είναι ότι το υλικό που πρόκειται να αφαιρεθεί διαλύεται βυθίζοντάς το σε ένα χημικό λουτρό.
Εικόνα 2:Λουτρό χάραξης θειικού χαλκού
Πλεονεκτήματα και μειονεκτήματα
Αυτή είναι η απλούστερη διαδικασία που μπορεί να χρησιμοποιηθεί για χάραξη. Επειδή απαιτεί μόνο ένα λουτρό χημικών ως υγρό διάλυμα. Ωστόσο, ένα μειονέκτημα αυτής της μεθόδου είναι ότι ένα χημικό λουτρό μπορεί να διαλύσει τα απαραίτητα υλικά και στην επιφάνεια. Επομένως, θα πρέπει να χρησιμοποιείται κατάλληλος παράγοντας κάλυψης. Διαφορετικά, θα πρέπει να χρησιμοποιηθούν χημικές ουσίες που διαλύουν αργά τα υλικά της επιφάνειας (πιο αργά από τα υλικά που πρέπει να αφαιρεθούν).
Διαφορά μεταξύ ξηρής και υγρής χάραξης
Ορισμός
Ξηρή χάραξη: Η ξηρή χάραξη είναι η διαδικασία χάραξης που γίνεται στη φάση του πλάσματος.
Υγρή χάραξη: Η υγρή χάραξη είναι η διαδικασία χάραξης που γίνεται σε υγρή φάση.
Φάση
Ξηρή χάραξη: Η ξηρή χάραξη χρησιμοποιεί χημικές ουσίες αέριας φάσης.
Υγρή χάραξη: Η υγρή χάραξη χρησιμοποιεί χημικές ουσίες υγρής φάσης.
Ασφάλεια
Ξηρή χάραξη: Η ξηρή χάραξη είναι πολύ πιο ασφαλής από την υγρή χάραξη.
Υγρή χάραξη: Η υγρή χάραξη δεν είναι ασφαλής, καθώς η απόρριψη επικίνδυνων χημικών ουσιών μπορεί να προκαλέσει μόλυνση του νερού.
Ακρίβεια
Ξηρή χάραξη: Η διαδικασία ξηρής χάραξης είναι πιο ακριβής.
Υγρή χάραξη: Η διαδικασία υγρής χάραξης είναι λιγότερο ακριβής.
Χημική χρήση
Ξηρή χάραξη: Η ξηρή χάραξη χρησιμοποιεί λίγα χημικά.
Υγρή χάραξη: Η υγρή χάραξη χρησιμοποιεί πολλές χημικές ουσίες.
Κόστος
Ξηρή χάραξη: Η ξηρή χάραξη είναι ακριβή επειδή απαιτείται εξειδικευμένος εξοπλισμός.
Υγρή χάραξη: Η υγρή χάραξη δεν είναι πολύ ακριβή γιατί χρειάζεται μόνο χημικό μπάνιο.
Συμπέρασμα
Η ξηρή και η υγρή χάραξη είναι δύο κύριοι τύποι διαδικασιών χάραξης. Αυτές οι διαδικασίες είναι χρήσιμες για την αφαίρεση επιφανειακών υλικών και τη δημιουργία σχεδίων στις επιφάνειες. Η κύρια διαφορά μεταξύ ξηρής χάραξης και υγρής χάραξης είναι ότι η ξηρή χάραξη γίνεται σε υγρή φάση ενώ η υγρή χάραξη γίνεται σε φάση πλάσματος.
