Ποιο αέριο χρησιμοποιείται ως προστατευτική ατμόσφαιρα για την καλλιέργεια πυρίτιο και γερμανικό;
Εδώ είναι γιατί:
* Μειώνει τις ακαθαρσίες: Το υδρογόνο δρα ως ένας ισχυρός αναγωγικός παράγοντας, αντιδρώντας και αφαιρώντας το οξυγόνο και άλλες ακαθαρσίες που μπορούν να υποβαθμίσουν την ποιότητα των κρυστάλλων του πυριτίου και του γερμανίου.
* Αποτρέπει την οξείδωση: Το υδρογόνο εμποδίζει αποτελεσματικά τον σχηματισμό οξειδίων στις αναπτυσσόμενες κρυστάλλινες επιφάνειες, εξασφαλίζοντας ότι η κρυσταλλική δομή παραμένει άθικτη.
* Ενισχύει την ανάπτυξη κρυστάλλων: Το υδρογόνο μπορεί να βοηθήσει στη διαδικασία εναπόθεσης διευκολύνοντας την αντίδραση μεταξύ του αρχικού υλικού και του αναπτυσσόμενου κρυστάλλου.
Ενώ το υδρογόνο είναι το πιο συνηθισμένο, μπορούν να χρησιμοποιηθούν άλλα αέρια ανάλογα με τη συγκεκριμένη διαδικασία ανάπτυξης και τις επιθυμητές ιδιότητες κρυστάλλων. Μερικά παραδείγματα περιλαμβάνουν:
* αζώτου (N2): Χρησιμοποιείται ως αδρανές αέριο, ειδικά όταν η μόλυνση οξυγόνου είναι ανησυχητική.
* Argon (AR): Παρόμοια με το άζωτο, που χρησιμοποιείται ως αέριο αδρανούς φορέα.
* ήλιο (He): Μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως αέριο φορέα σε ορισμένες εξειδικευμένες εφαρμογές.
* χλώριο (CL2) ή χλωριούχο υδρογόνο (HCl): Χρησιμοποιείται σε συγκεκριμένες διαδικασίες ανάπτυξης πυριτίου όπως η διαδικασία Siemens για την ενίσχυση της καθαρότητας των κρυστάλλων.
Το συγκεκριμένο μείγμα αερίου και οι συνθήκες ανάπτυξης είναι ζωτικής σημασίας για την επίτευξη της επιθυμητής ποιότητας και ιδιοτήτων κρυστάλλων.
