Πώς καθαρίζεται η ένωση ημι -αγωγού;
1. Διευθυντής ζώνης:
* Αυτή η τεχνική χρησιμοποιείται για τον καθαρισμό στοιχείων όπως το πυρίτιο, το γερμανικό και το γαλλικό.
* Μια τετηγμένη ζώνη μετακινείται κατά μήκος μιας ράβδου του ακάθαρτου ημιαγωγού.
* Οι ακαθαρσίες έχουν υψηλότερη διαλυτότητα στην υγρή φάση και τείνουν να επικεντρώνονται στη λιωμένη ζώνη.
* Η λιωμένη ζώνη μετακινείται επανειλημμένα κατά μήκος της ράβδου, ωθώντας τις ακαθαρσίες στο ένα άκρο.
* Ο καθαρισμένος ημιαγωγός κόβεται στη συνέχεια από το άλλο άκρο.
2. Μέθοδος Czochralski:
* Χρησιμοποιείται για την καλλιέργεια μεμονωμένων κρυστάλλων πυριτίου, γερμανίου και άλλων ημιαγωγών.
* Ένας κρύσταλλος σπόρου βυθίζεται σε ένα χωνευτήριο που περιέχει λιωμένο υλικό ημιαγωγού.
* Ο κρύσταλλος σπόρου τραβιέται αργά προς τα πάνω ενώ περιστρέφεται.
* Ο τετηγμένος ημιαγωγός στερεοποιείται στον κρύσταλλο σπόρου, δημιουργώντας ένα μεγάλο ενιαίο κρύσταλλο με υψηλή καθαρότητα.
3. Float Zone Recining:
* Αυτή η μέθοδος είναι παρόμοια με τη διύλιση της ζώνης, αλλά χρησιμοποιεί μια πλωτή τετηγμένη ζώνη.
* Μια ράβδος του ημιαγωγού αναστέλλεται κατακόρυφα και μια τετηγμένη ζώνη δημιουργείται με τη διέλευση ενός ρεύματος υψηλής συχνότητας μέσω αυτού.
* Η λιωμένη ζώνη μετακινείται προς τα πάνω, μεταφέροντας τις ακαθαρσίες μαζί με αυτό.
* Αυτή η μέθοδος είναι κατάλληλη για καθαρισμό υλικών με υψηλά σημεία τήξης.
4. Χημική εναπόθεση ατμών (CVD):
* Περιλαμβάνει την εναπόθεση ενός καθαρού στρώματος ημιαγωγού σε ένα υπόστρωμα χρησιμοποιώντας αέριους πρόδρομους.
* Οι αεριώδεις πρόδρομοι αντιδρούν σε υψηλές θερμοκρασίες, με αποτέλεσμα την εναπόθεση ενός καθαρού μεμβράνης ημιαγωγών.
* Αυτή η μέθοδος χρησιμοποιείται συχνά για την καλλιέργεια λεπτών μεμβρανών ημιαγωγών.
5. Μοριακή επιταξία δέσμης (MBE):
* Μια διαδικασία υψηλής βάσης που χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη λεπτών μεμβρανών ημιαγωγών.
* Οι μοριακές δέσμες των υλικών ημιαγωγών κατευθύνονται σε ένα θερμαινόμενο υπόστρωμα σε περιβάλλον υψηλού κενού.
* Οι δοκοί ελέγχονται προσεκτικά για να επιτευχθούν ακριβές πάχος και σύνθεση.
6. Επιταξιακή ανάπτυξη:
* Αυτή η μέθοδος περιλαμβάνει την ανάπτυξη ενός λεπτού στρώματος υλικού ημιαγωγού σε ένα υπόστρωμα με την ίδια κρυσταλλική δομή.
* Το στρώμα κληρονομεί την κρυσταλλική δομή του υποστρώματος, με αποτέλεσμα ένα εξαιρετικά καθαρό και διατεταγμένο υλικό.
7. Χημική χάραξη:
* Περιλαμβάνει την αφαίρεση ακαθαρσιών από την επιφάνεια ενός δισκίου ημιαγωγού χρησιμοποιώντας ένα χημικό διάλυμα.
* Διαφορετικές λύσεις χάραξης χρησιμοποιούνται για την επιλεκτική κατάργηση συγκεκριμένων ακαθαρσιών.
8. Χάραξη πλάσματος:
* Αυτή η μέθοδος χρησιμοποιεί ένα πλάσμα για να χαράξει τις ακαθαρσίες από την επιφάνεια ενός δισκίου ημιαγωγού.
* Το πλάσμα παράγεται με την εφαρμογή ενός ηλεκτρικού πεδίου υψηλής συχνότητας σε ένα αέριο.
* Η διαδικασία χάραξης είναι εξαιρετικά ελεγχόμενη και επιτρέπει την ακριβή απομάκρυνση των ακαθαρσιών.
9. Ion εμφύτευση:
* Αυτή η τεχνική περιλαμβάνει τον βομβαρδισμό ενός δισκίου ημιαγωγού με ιόντα υψηλής ενέργειας.
* Τα ιόντα μπορούν να δημιουργήσουν ελαττώματα στο δίσκο, αλλά μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν για να εισαγάγουν τα δωδεκάδες ή να αφαιρέσουν τις ακαθαρσίες.
10. Διάχυση:
* Αυτή η διαδικασία περιλαμβάνει την εισαγωγή ακαθαρσιών σε ένα δίσκο ημιαγωγών με θέρμανση του δίσκου σε ελεγχόμενη ατμόσφαιρα.
* Οι ακαθαρσίες διαχέονται στο δίσκο, δημιουργώντας ένα επιθυμητό προφίλ ντόπινγκ.
Αυτές οι μέθοδοι καθαρισμού χρησιμοποιούνται συχνά σε συνδυασμό για να επιτευχθεί το επιθυμητό επίπεδο καθαρότητας για ενώσεις ημιαγωγών. Οι συγκεκριμένες μέθοδοι που χρησιμοποιούνται θα εξαρτηθούν από το υλικό, το επιθυμητό επίπεδο καθαρότητας και την προβλεπόμενη εφαρμογή.
